1. Einführung.- 2. Die Beobachtungen.- 2.1 Das Plattenmaterial.- 2.2 Die Aufnahmen.- 2.3 Ausmessung am Komparator.- 3. Das Auswerteverfahren.- 3.1 Auswertung der Komparatormessungen.- 3.2 Die Plattenreduktion.- 3.3 Statistische Restfehleranalyse.- 4. Ergebnisse und Folgerungen.- 4.1 Beurteilung der Meßgenauigkeit.- 4.2 Schichtverzug aus Kontaktkopien.- 4.3 Schichtverzug aus den Restfehlern der Plattenreduktion.- 4.4 Schlußfolgerungen.- 5. Literatur.- 6. Anhang.
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GPSR Compliance The European Union's (EU) General Product Safety Regulation (GPSR) is a set of rules that requires consumer products to be safe and our obligations to ensure this. If you have any concerns about our products you can contact us on ProductSafety@springernature.com. In case Publisher is established outside the EU, the EU authorized representative is: Springer Nature Customer Service Center GmbH Europaplatz 3 69115 Heidelberg, Germany ProductSafety@springernature.com
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Produktdetaljer

ISBN
9783531027982
Publisert
1979-01-01
Utgiver
Vendor
Springer vs
Aldersnivå
Research, P, 06
Språk
Product language
Tysk
Format
Product format
Heftet

Forfatter